Referenzen

Interferometrisches Nanoprofilometer

INP

Entwicklung eines Präzisionsgerätes zur Messung der Gestaltabweichung von Planspiegeln - das Interferometrische Nanoprofilometer:

  • Konzeption
  • Design und Aufbau
  • Qualifizierung des Messprinzips, Reduzierung der Unsicherheit der Messung der Gestaltabweichung

Publikationen:

A. Müller, N. Hofmann and E. Manske: "Approaching nanometre accuracy in measurement of the profile deviation of a large plane mirror" Measurement Science and Technology, Volume 23, Number 7, 2012 IOP Publishing

A. Müller; G. Jäger; E. Manske: Interferometric measurement of profile deviations of large precision mirrors; Proc. SPIE 8082-80821N, 2011

A. Müller, H. Büchner, G. Jäger, E. Manske: Patent: Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Profilabweichungen, Patent DE10019059A1, 2008

Müller, A.: Entwicklung eines Präzisionsgerätes zur Messung der Gestaltabweichung von Planspiegeln, ISLE, 2006, Taschenbuch
ISBN: 3932633903