Referenzen

Three-Flat Test

Etablierung einer Ebenheitsreferenz für die Kalibrierung der Planspiegel der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

    Die messtechnische Leistungsfähigkeit der Nanomessmaschine hängt in entscheidendem Maße von der Präzision der Raumspiegelecke ab. Um die Gestaltabweichungen der Flächen der Raumspiegelecke zu ermitteln, wurden verschiedene Konfigurationen von Three-Flat Tests angewendet und analysiert. Es galt vor allem, die Stabilität und Reproduzierbarkeit der Messanlage und des Messprinzips zu steigern, sowie Erkenntnisse über Deformationen durch Fassung und Gewichtskraft an optisch wirksamen Flächen zu gewinnen und so weit wie möglich zu korrigieren.

    • Umsetzung von mehreren Grundlangenmodellen des Three-Flat Test
    • Weiterentwicklung zum modifizierten adaptiven Three-Flat Test für die vertikale Anordnung
    • Unsicherheitsanalyse und -Budget
    • Messdatentransfer und Referenzierung

    Publikation:

    Xu, H.; Müller, A.; Balzer, F.; Percle, B.; Manske, Eberhard; Jäger, Gerd: The complete acquisition of the topography of a special multi-mirror arrangement with the help of a Fizeau interferometer. - In: Conference (Munich): 2009.06.15-18. - Bellingham, Wash. : SPIE (2009)