Referenzen

Three-Sphere Test

Etablierung einer Kugelreferenz für die Kalibrierung von Tastkugeln der Nanomess- und Nanopositioniermaschinen

    Die Gestaltabweichungen der Tastkugeln von Messtastern beeinflussen die Messunsicherheit der taktil antastenden Topographiemessung maßgeblich. Um ihren Einfluss zu reduzieren, kann dieser systematische Fehler bei der Messung korrigiert werden, sofern er bekannt ist. Dazu wurde der aus der Ebenheitsmessung bekannte Three-Flat Test erfolgreich in den sphärischen Koordinatenraum für die Kugelkalibrierung transferiert - der Three-Sphere Test.

    • Erarbeitung einer geschlossenen mathematischen Lösung
    • Analyse und Simulation
    • Unsicherheitsanalyse