Die Gewichtskraftkompensationseinheiten der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200 ermöglichen eine verlustleistungsfreie Kompensation der Gewichtskraft des Messtisches mit Messobjekten unterschiedlicher Massen im Vakuum. Die Entwicklung beinhaltete:

• Konzeption und Simulation
• Design, Auftragsfertigung und Aufbau
• Messung, Analyse und Optimierung der Gewichtskraftkompensationseinheiten

Publikationen:

Siehe Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200