Markerdesign für nanometergenaue Positionierung
Markerdesign für nanometergenaue Positionierung - Markerentwicklung für die Positionsreferenzierung von Topographiemessdaten, die für verschiedene Messsysteme sichtbar und messbar sein sollen (Datenfusion)
- Konzeption
- Herstellung
- Messung und Auswertung
Publikation:
Müller, A., Mastylo, R., Vorbringer-Dorozhovets, N., Manske, E.: Markers for referencing topography measurement data of optical surfaces.; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, 8 - 12 September 2014
Blobel, G.; Wiegmann, A.; Quabis, S.; Schulz, M.; Müller, A.; Manske, E.: "Entwicklung von Normalen für die Charakterisierung von Asphären-Messgeräten." - In: DGaO-Proceedings. - Erlangen-Nürnberg: Dt. Gesellschaft für angewandte Optik, ISSN 16148436, Bd. 115.2014, A31, insges. 2 S.