Nanoprofilador interferométrico
Desarrollo del nanoperfilador interferométrico, un dispositivo de precisión para medir la desviación de forma de los espejos planos:
- Concepción
- Diseño y construcción
- Calificación del principio de medición, reducción de la incertidumbre de la medición de la desviación de la forma
Publicaciones:
A. Müller, N. Hofmann and E. Manske: "Approaching nanometre accuracy in measurement of the profile deviation of a large plane mirror" Measurement Science and Technology, Volume 23, Number 7, 2012 IOP Publishing
A. Müller; G. Jäger; E. Manske: Interferometric measurement of profile deviations of large precision mirrors; Proc. SPIE 8082-80821N, 2011
A. Müller, H. Büchner, G. Jäger, E. Manske: Patent: Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Profilabweichungen, Patent DE10019059A1, 2008
Müller, A.: Entwicklung eines Präzisionsgerätes zur Messung der Gestaltabweichung von Planspiegeln, ISLE, 2006, Taschenbuch
ISBN: 3932633903