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Referencias

Nanoprofilador interferométrico

INP - Dispositivo de precisión para medir la desviación de forma de espejos planos

Desarrollo del nanoperfilador interferométrico, un dispositivo de precisión para medir la desviación de forma de los espejos planos:

  • Concepción
  • Diseño y construcción
  • Calificación del principio de medición, reducción de la incertidumbre de la medición de la desviación de la forma


Publicaciones:

A. Müller, N. Hofmann and E. Manske: "Approaching nanometre accuracy in measurement of the profile deviation of a large plane mirror" Measurement Science and Technology, Volume 23, Number 7, 2012 IOP Publishing

A. Müller; G. Jäger; E. Manske: Interferometric measurement of profile deviations of large precision mirrors; Proc. SPIE 8082-80821N, 2011

A. Müller, H. Büchner, G. Jäger, E. Manske: Patent: Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Profilabweichungen, Patent DE10019059A1, 2008

Müller, A.: Entwicklung eines Präzisionsgerätes zur Messung der Gestaltabweichung von Planspiegeln, ISLE, 2006, Taschenbuch
ISBN: 3932633903

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