Máquina de nanoposicionamiento y nanomedición NPMM-200 | Máquina de medición de microcoordenadas

• Dirección del equipo de desarrollo del prototipo NPMM-200 I (2012 - 2015 proyecto de transferencia y proyecto conjunto)
• Dirección del proyecto, liderazgo del equipo y entrega NPMM-200 II para el ITO Nano Lab Stuttgart (2015 - 2018 iniciativa de grandes equipos de la DFG)

El NPMM-200 reúne los resultados más importantes del Centro de Investigación Colaborativa 622 "Máquinas de Nanoposicionamiento y Nanomedición", en el que han participado más de 10 disciplinas e institutos afiliados a la TU Ilmenau. Actualmente es una de las máquinas de medición más precisas que existen.

• Rango de medición y posicionamiento: 200 mm x 200 mm x 25 mm
• Reproducibilidad del posicionamiento: ≤4 nm en todo el rango de posicionamiento
• Resolución: ≤80 pm

publicaciones:

G. Jäger, E. Manske, T. Hausotte, A. Müller, F. Balzer: Nanopositioning and nanomeasuring machine NPMM-200—a new powerful tool for large-range micro- and nanotechnology; IOP Publishing; Surface Topography: Metrology and Properties, Volume 4, Number 3; 2016

E Manske, G Jäger, T Hausotte, A. Müller, F. Balzer: Nanopositioning and Nanomeasuring Machine NPMM-200 – sub-nanometre resolu-tion and highest accuracy in extended macroscopic working areas; euspen’s 17th International Conference & Exhibition, Hannover, DE, May 2017