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Referencias

Prueba de las tres esferas

Establecimiento de una norma de referencia libre esfera de referencia para la calibración de las esferas de las sondas de las máquinas de nanoposicionamiento y nanomedición

Las desviaciones de forma del palpador de los palpadores afectan significativamente a la incertidumbre de la medición de la topografía táctil. Para reducir su influencia, este error sistemático en la medición puede corregirse si se conoce. Para ello, la prueba de tres planos conocida a partir de la medición de la planitud se transfirió con éxito al espacio de coordenadas esféricas para la calibración de la esfera de palpación - la prueba de las tres esferas

  • Desarrollo de una solución matemática cerrada
  • Análisis y simulación
  • Análisis de la incertidumbre

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