Referenzen

Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200

NPMM-200 I und NPMM-200 II

Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200

  • Teamführung Labormusterentwicklung NPMM-200 I (2012 - 2015 Transferprojekt & Verbundprojekt)
  • Projektleitung und Teamführung Aufbau und Lieferung NPMM-200 II für das ITO Nano Lab Stuttgart (2015 - 2018 Großgeräteinitiative der DFG)

Die NPMM-200 vereint die wichtigsten Resultate des Sonderforschungsbereiches 622 "Nanopositionier- und Nanomessmaschinen" an dem mehr als 10 Fachgebiete und An-Institute der TU-Ilmenau mitgewirkt haben. Sie zählt gegenwärtig zu den genausten verfügbaren Messmaschinen.

  • Mess- und Positionierbereich: 200 mm x 200 mm x 25 mm
  • Positionierreproduzierbarkeit: ≤4 nm über den gesamten Positionierbereich
  • Auflösung: ≤80 pm über den gesamten Positionierbereich

Publikationen:

G. Jäger, E. Manske, T. Hausotte, A. Müller and F. Balzer: Nanopositioning and nanomeasuring machine NPMM-200—a new powerful tool for large-range micro- and nanotechnology; IOP Publishing; Surface Topography: Metrology and Properties, Volume 4, Number 3; 2016

E Manske, G Jäger, T Hausotte, A. Müller and F. Balzer: Nanopositioning and Nanomeasuring Machine NPMM-200 – sub-nanometre resolu-tion and highest accuracy in extended macroscopic working areas; euspen’s 17th International Conference & Exhibition, Hannover, DE, May 2017