Referenzen

Gewichtskraftkompensationseinheiten

für die Nanopositionier- und Nanomessmaschine

    Die Gewichtskraftkompensationseinheiten der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200 ermöglichen eine verlustleistungsfreie Kompensation der Gewichtskraft des Messtisches mit Messobjekten unterschiedlicher Massen im Vakuum. Die Entwicklung beinhaltete:

    • Konzeption und Simulation
    • Design, Auftragsfertigung und Aufbau
    • Messung, Analyse und Optimierung der Gewichtskraftkompensationseinheiten